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    2500℃電阻爐

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    • 碳化硅反應燒結爐
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    碳化硅反應燒結爐

    碳化硅反應燒結爐是專門用于制備反應燒結碳化硅(RB-SiC)的高端熱處理設備,通過硅熔滲(Silicon Infiltration)工藝,將多孔碳化硅素坯與熔融硅在高溫下反應,形成高致密、高性能的SiC-Si復合材料。該設備廣泛應用于半導體、航空航天等領域。

    產品介紹

    • 碳化硅反應燒結爐是專門用于制備反應燒結碳化硅(RB-SiC)的高端熱處理設備,通過硅熔滲(Silicon Infiltration)工藝,將多孔碳化硅素坯與熔融硅在高溫下反應,形成高致密、高性能的SiC-Si復合材料。該設備廣泛應用于半導體、航空航天等領域


        

      參數指標

      參數指標

       

       單位/型號

      實驗型

      生產型

      NTG-SJL-50W

      NTG-SJL-90W

      NTG-SJL-120W

      NTG-SJL-165W

      NTG-SJL-210W

      NTG-SJL-276W

      有效尺寸

      mm

      300×300×600

      400×400×800

      500×500×1200

      600×600×1600

      600×600×2000

      750×750×2000
      可定制更大尺寸

      加熱方式

      /

      石墨電阻

      高溫區容積

      L

      54

      128

      300

      576

      720

      1125

      裝載量

      g

      裝料區容積*產品密度(裝料容積可根據用戶需求定制)

        

      KW

      50

      90

      120

      165

      210

      276

      極限真空度

      pa

      冷態 5pa(真空度可根據客戶需求定制)

      工作溫度

      1500℃

      1500℃

      1500℃

      1500℃

      1500℃

      1500℃

      最高溫度

      1600℃

      1600℃

      1600℃

      1600℃

      1600℃

      1600℃

      恒溫區溫差

      ±5℃

      ±5℃

      ±7℃

      ±7℃

      ±10℃

      ±10℃

      爐內工作環境

      /

      真空狀態或Ar.N2氣氛保護(微正壓)


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